U području žutog upozorenja u tvornici poluvodiča, srebrno tijelo pumpe tiho prenosi prozirnu tekućinu -, to jest, čak i zlato može biti otopljena fluorovodična kiselina. Deset godina, ovaj ključni medij za graviranje čipova zbog jake korozivne prirode, postao je pokretna oprema, "terminator industrije", sve dok nova mehanička membranska mjerna pumpa ne donese revolucionarnu revoluciju.
Fluorovodična kiselina može prodrijeti kroz većinu metala i gume, tradicionalne pumpe i ventili često rade nekoliko sati kako bi zarđali. Još je smrtonosnije mikro-curenje: nevidljivo curenje para može tiho nagrizati kostur opreme. Tvornica pločica nastala je zbog kvara na brtvi ventila, što je rezultiralo trideset milijuna dolara vrijednim fotolitografskim unutarnjim pločama stroja za kiselu maglu koja se polako prazni, tri mjeseca nakon što je stroj iznenada paraliziran.
Srž mehaničke membranske pumpe leži u suptilnoj kombinaciji keramike i kompozitnih materijala:
- Nano-keramička tvrdoća kalema druga je nakon dijamanta, otporna je na ispiranje kiselinom
- 0.08mm poboljšana teflonska dijafragma tvori fizički izolacijski sloj.
- Inteligentni sustav kompenzacije tlaka uravnotežuje razliku tlaka unutar i izvan komore u stvarnom vremenu
Kontinuiranim prijenosom 40% koncentracije fluorovodične kiseline tijekom 12 000 sati, točnost brzine protoka održava se unutar ±1%. Skenirano laserskim detektorom, istrošenost brtvene površine ključa iznosi samo 0,3 mikrona - što je ekvivalentno 1/200 ljudske vlasi, dok u simuliranom katastrofalnom testu pumpa automatski pokreće tro-fazno zaključavanje kada brtvu unište ljudska bića, a curenje se kontrolira na 0,001 ml po satu, što je samo 1% sigurnosnog standarda.
Uz širenje globalnog kapaciteta proizvodnje poluvodiča (očekuje se da će veličina tržišta dosegnuti 400 milijardi USD 2025.) i eksploziju nove energetske industrije, tržište pumpi fluorovodične kiseline raste prosječnom godišnjom stopom od 12%. Mehaničke membranske pumpe uključene su u SEMI-jev međunarodni preporučeni popis standarda za poluvodičku opremu zbog svojih karakteristika nultog-propuštanja, s povećanjem stope lokalizacije s 30% u 2020. na 50% u 2025. Dalekosežniji-utjecaj je da tehnologija mehaničke membranske pumpe smanjuje ekološki rizik prijenosa fluorovodične kiseline za 90%, a nakon primjene u kemijskom parku, koncentracija fluorida u okolnom tlu pala je za 47%, ostvarivši dobitnu-situaciju ekonomskih koristi i zaštite okoliša.
Kada fluorovodična kiselina teče točno u zatvorenoj komori, mehanička membranska pumpa čuva životnu žilu moderne elektroničke industrije s obranom od nanomjera. Kao što je tim za istraživanje i razvoj rekao, "Bit ove revolucije brtvljenja je pripitomiti smrtonosne opasnosti u kontroliranu produktivnost - na mikro bojnom polju, nula curenja je najveća pravda."
